产品特点:
* 基座、立柱、工作台全机采用精密00级花岗岩,降低形变系数,稳定性高;
* 三轴高精度伺服马达传动;
* 七海专利光罩技术测量仪,无光学尺和编码器,无阿贝误差,精度不受机械误差影响;
* 技术突破,悬臂式大行程影像测量仪,高精度,无累计误差;
* 可搭配激光测头应用;
* 搭配七海版测量软件EF系列软件;
* 芯片、电路板、铭版、印刷、Touch Panel等专用测量机型。
技术参数:
型号 GM-7060
行程(mm) X 700
Y 600
Z 100
外型尺寸 1860x1270x1680
工作台大小 1020x920
工作台承重(kg) 5kg
机台重量 800kg
轴向测量精度 XY(3um 5L/1000)um
平面精度 < 5 μm
控制方式 自动
摄像机 SOV-A级高解析1/3” 彩色CCD
SOV-A 级测量专用型镜头
光源 轮廓光 LED,亮度连续可调
表面光 LED,亮度连续可调
放大倍数 30x-200x(光学放大倍率为0.7-4.5倍)
选配功能 七海 16向全视角旋转灯源系统
七海 12段自动变焦镜头
美国NAVITA测量专用镜头
触发测头探针组(智慧型探针测量系统)
激光位移感测系统
工作距离 90mm
电源 220 V ± 10% ,50 Hz
(用电设备要求接地:接地电阻小于4欧姆)
工作环境 20℃ ± 2℃,温度变化<2℃/hr,湿度45% ~ 75%
振动<0.002g,低于15Hz
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